退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

 陶瓷纤维毯，也叫硅酸铝纤维毯。从成分来看，氧化铝占44-55%,氧化铝+二氧化硅占96%以上。氧化铝是瓷器的主要成分，这也是陶瓷纤维名称的由来。

    下面从物理性能和化学性能两方面介绍一下陶瓷纤维毯。

    物理性能：顾明思议，陶瓷纤维毯是由陶瓷纤维织成的毯状物。陶瓷纤维毯的制作工艺比较复杂，主要流程有煤矸石、锆英砂等原材料粉碎，经2000度高温熔化后，用甩丝或喷吹工艺制成纤维。再经过机器针刺成毯、切割后包装入袋。

     化学性能：陶瓷纤维毯的主要成分是氧化铝，根据氧化铝纯度高低可划分为1050普通型、1260标准型、1260高纯型、1400高铝型、1400锆铝型及1430含锆型等6个型号。随着耐材行业技术的提高，氧化铝纯度不断提升，新推出的氧化铝纤维，耐温能达到1600度，刷新了陶瓷纤维行业的新纪录。但是由于技术要求极高，价格也是相当可观的。

陶瓷纤维毯的产品分类：

1050陶瓷纤维毯 JSGW-112

1260陶瓷纤维毯 JSGW-212

高纯硅酸铝陶瓷纤维毯 JSGW-312

高铝硅酸铝陶瓷纤维毯 JSGW-422

含锆硅酸铝陶瓷纤维毯 JSGW-512

锆铝硅酸铝陶瓷纤维毯 JSGW-612

按尺寸划分，可根据编织袋容积分为以下几个规格：7200*610*20mm   5000*610*30mm     3600*610*50mm等。

     主要技术性能指标;

分类温度		1050	1260				1400
产品代码		JSGW-112	JSGW-212		JSGW-312		JSGW-422		JSGW-512
加热长久线变化(%)		950℃×24h≤-3	1000℃×24h≤-3		1100℃×24h≤-3		1200℃×24h≤-3		1350℃×24h≤-3
理论导热系数 (W/m.k) (128kg/ m3)	(平均200℃)	0.045-0.060					0.052-0.070
	(平均400℃)	0.085-0.110					0.095-0.120
	(平均600℃)	0.152-0.20					0.164-0.210
理论体积密度(kg/m3)		64/96/128					128			96/128
产品规格(mm)		14400/7200/7000/5000/3600/3000×610/1220×10/20/25/30/40/50
抗拉强度（厚度25mm）MPa		≥0.04
AL2O3(%)		≥44		≥45		≥45		52～55		38～40
Zr2(%)										15～17
AL2O3+SiO2(%)		≥96		≥97		≥99		≥99		-
AL2O3+SiO2+Zr2(%)		-		-		-		-		≥99
Fe2O3(%)		≤1.2		≤1.0		≤0.2		≤0.2		≤0.2
K2O+Na2O(%)		≤0.5		≤0.5		≤0.2		≤0.2		≤0.2
包装形式		内塑料袋外编织袋