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美企业新专利超越碳化硅材料

日期：2008-12-05

　　位于美国加利福亚州桑尼维尔的Integrated Materials, Inc.公司拥有SiFusion™专利技术，Integrated Materials独特的SiFusion™多晶硅炉系列能够减少LPCVD中的粒子数、痕量金属污染物和高温工艺中的错误，从而超越了传统的石英和碳化硅材料。SiFusion™炉通过大幅减少例行清洗次数，提高了生产效率，降低了成本。

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